真空泵是用各种方法在某一封闭空间中产生、改善和维持真空的装置。真空泵可以定义为：利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。随着真空应用的发展，真空泵的种类已发展了很多种，其抽速从每秒零点几升到每秒几十万、数百万升。极限压力(极限真空)从粗真空到10-12Pa以上的极高真空范围。
真实空区域的划分
粗糙的真相空
105 ~ 103帕
低真空
103~10-1Pa
高震空
10-1至10-6Pa
super true空
10-6~10-10Pa
非常正确空
& lt10-10Pa
真空泵的分类
根据true空泵的工作原理，true空泵基本上可以分为两种类型，即可变容积true空泵和动量传递泵。
可变容积真空泵是利用泵腔容积的周期性变化来完成吸气和排气以达到抽气目的的真空泵。气体在从泵室排出之前被压缩。
动量传递泵（molecular real空泵）依靠高速旋转的叶片或高速射流将动量传递给气体或气体分子，使气体从泵的入口连续传递到出口。
可变容量空泵分为往复式、旋转式（旋转叶片式、滑阀式、液环式、罗茨式、螺旋式、爪形转子式）和其他类型。
各种真空泵的工作压力范围
true空泵类型
工作压力范围（Pa）
往复式真空泵
1×105~1.3×102
旋转叶片式真空泵
1×105~6.7×10-1
液环式真空泵
1×105~2.7×103
罗茨泵
1.3×103~1.3
蒸汽喷射泵
1×105~1.3×10-1
油扩散泵
1.3×10-2~1.3×10-7
钛升华泵
1.3×10-2~1.3×10-9
真空泵的规格和型号表示
国内各种机械泵的型号通常用汉语拼音表示。汉语拼音字母表示泵的类型；字母前的数字表示泵的级数，单级省略“1”；字母和水平线后面的数字表示泵的泵速（L/S）。
国产true空泵型号对照表
模型
名义名称
模型
名义名称
W
往复式真空泵
H
滑阀式真空泵
怀俄明州
移动阀往复泵
YZ
摆线真空泵
水位(waterline或water line)
立式往复泵
ZJ
罗茨泵空
尺码（size的简写）
水环泵
X
旋转叶片式真空泵
SZB
悬臂结构水环泵
F
分子真空泵
SZZ
直连水环泵
XZ
直连旋转叶片泵
通用true空泵技术
1.蒸汽喷射泵
喷射泵的工作原理:蒸汽喷射泵在一定压力下工作。蒸汽通过拉瓦尔喷嘴，压力降低，速度增加。蒸汽的势能转化为动能，以超音速喷入混合室，与泵送介质混合进行能量交换。混合气体进入扩散器，减速和增压。工作原理如下图所示:
优势:
缺点:
没有机械运动部件
运动流体供应
可靠耐用
废水处理
快速提取空
过程污染
紧凑、占地面积小
故障查找困难
工作安全和适应性强。
级间冷却
投资成本低
通常是多级的
结构简单、重量轻
冻结在400帕以下
2.湿式泵:液环泵。
在圆形泵体中，叶轮安装在相对于泵体中心线偏心的轴上。旋转叶轮的离心作用迫使工作流体通过通道流向空腔的以形成环流。
泵工作时，输送的气体混合物通过中间板上的吸入口进入叶轮，在泵入口处形成一个真正的空。气体混合物被填充到液体环内径和叶轮叶片根部之间的叶轮空腔中。叶轮旋转时，叶轮叶片在液环中的浸没程度增加，液环与叶轮叶片根部之间的体积减小。结果，气体混合物被压缩，直到它到达中间板的排放口。气体混合物通过排放口排出。
在压缩循环期间，热量被传递到液环。为了保持温度低于工作液体的蒸发点，必须进行冷却。冷却的目的是通过不断向液环中加入冷工作液体来实现的。添加的工作流体的量等于通过排放口与压缩气体混合物一起排放的工作流体的量。气体混合物和工作液体最终通过泵出口分离。
根据不同的结构，液环泵可分为以下几种类型:
●单级单作用液环泵单级意味着只有一个叶轮。单作用意味着一旦叶轮旋转，吸气和排气各进行一次。这种泵的极限空较高，但泵送速度和效率较低。
●单级双作用液环泵单级是指只有一个叶轮，双作用是指叶轮每转动一次，吸入和排出就进行两次。在相同的抽速下，双作用液环泵的体积和重量比单作用液环泵大大减小。由于工作室对称地分布在泵轮毂的两侧，因此作用在转子上的载荷得到了改善。这种泵抽速高，效率高。
●两级液环泵大多是串联的单作用泵。本质上，两个单级单作用液环泵的叶轮共用一个主轴并相连。其主要特点是在高真空度下仍有较大的抽速，且工况稳定。
●大气液环泵实际上是一个装置，其中大气喷射器与液环泵串联。在液环泵前串联一个大气泵，提高了极限真理空，扩大了泵的应用范围。
优势
劣势
结构简单，加工容易，维护方便。
结构紧凑，泵速高，一般可与电机直接连接，无需减速装置。因此，利用小的结构尺寸，可以获得大的排气量，并且占用面积小。
压缩气体基本上是等温的，即在压缩气体过程中温度变化很小。
效率较低，一般在30%左右，好一点的能达到50%。
真实空度较低，这不仅受结构的限制，更重要的是受工作流体的饱和蒸汽压的限制。使用水作为工作流体，极限压力只能达到2000~4000Pa。使用油作为工作流体可以达到130帕。
密封液循环和污染。
湿式泵:旋转叶片泵
转子位于具有圆柱形孔的定子中，转子具有两个在槽中沿相反方向滑动的叶片。当转子运行时，叶片末端与油的定子壁接触。每次旋转是两个泵送循环-相对较小的不平衡力。
有点
缺失点
良好极限压力
低噪声
应用范围广
油封流体污染；对腐蚀非常敏感；
维护成本高；泵送速度范围有限。
不适于泵出含氧量高、有爆炸性、对泵有化学作用的密封油，
和含有微粒灰尘的气体。
湿式泵的主要问题:密封供液、污染、废水处理、腐蚀、蒸汽压力限制（尤其是液环泵）。
3.干式泵
干式真空空优点:工业生产流程无污染；真深度空，操作更灵活；无废水、无污染，（少或）无废物处理成本；维护成本低；立即在泵排出口回收溶剂；水、电、气消耗成本低→运营成本低。
技术比较:
干式泵的成本
投资成本较高，但运营成本较低；延长维护保养周期和轴承寿命。在工作范围内，功耗较低。因此，就容量能量比（M3/小时/千瓦）而言，节能效果更好。应处理无污染的油（齿轮箱除外）。
干式泵的类型:罗茨泵、螺杆泵和爪式泵；
罗茨泵:
螺杆泵:
螺杆泵采用齿轮传动同步反转，互不接触的左螺杆和右螺杆高速旋转。螺旋槽被泵壳和相互啮合的螺杆分成多个空空间以形成多个级，气体在等槽（圆柱形和等螺距）中输送，但没有压缩，只有螺杆末端的螺旋结构才能压缩气体。螺杆各级之间可形成压力梯度，分散压差，提高压缩比。零件之间的间隙和泵速对泵的性能有很大影响。设计螺杆各部分间隙时，应考虑膨胀、加工和装配精度以及工作环境（如去除含尘气体等）。).
螺杆泵的结构和特点
通过减速或注气进行冷却——降低容量并减少危险；
双螺杆操作；不锈钢转子；转子啮合和匹配；
悬臂轴；单级压缩；产生过多热量；
良好的液体相容性；维护非常容易；
复杂的螺旋结构。
爪式泵
爪式泵的结构特点
高气体压缩比，有效的气体压缩，工艺材料可以通过泵（良好的粉尘处理），良好的蒸汽运输和回收，热负荷耐受性，泵送空到扩散泵。直接支持工业扩散泵
动量传递型真空泵
使用高速旋转的叶片或高速射流，将动量传递给泵送的气体或气体分子，从而使气体从true空泵的入口连续传输到出口。
分子泵:牵引分子泵、涡轮分子泵和复合分子泵。
喷射泵:水喷射泵、气体喷射泵和蒸汽喷射泵。
扩散泵:使用油或汞蒸气作为工作介质。汞扩散泵没有分馏装置，油扩散泵有分馏装置。
喷射真空泵
射流真空泵是利用液体或气体的高速射流携带被抽气体，使被抽容器获得一定真空度的一种低真空泵。按工作介质可分为水喷射泵、常压喷射泵和蒸汽喷射泵。
喷射泵的特点:
结构简单，运行稳定可靠；能去除含有水蒸气和粉尘的气体、易燃易爆气体和腐蚀性气体；瓦斯抽采量大，应用广泛:冶金、化工、食品制造等领域；缺点:泵送效率低，能量损失大。
水喷射泵是一种以水为工作介质，通过高速射流将泵出的气体喷出，使容器达到一定程度真空的粗空采集设备。
单级泵的极限压力为3.3kPa，两级串联可获得更好的真空度，主要受水的饱和蒸汽压限制。它可以单独使用，也可以作为其他real空泵的前级。
喷嘴的作用是将水的压力转化为动能，其结构对泵的性能影响很大，常用于锥形收缩、流线型和多孔式。吸入室通常是圆柱形的，横截面积是喷嘴出口面积的6-10倍。
扩散器由锥形部分、喉部和锥形部分组成。锥形段使气体能顺利进入喉口（15 ~ 30o）；喉部使液体和气体混合均匀，进行传质和传能；渐扩段将气液混合介质的动能转化为压能，压能将泵送的气体压缩。（5至8度）
锅炉内的扩散泵油通过电加热沸腾形成蒸汽；油气通过导流管进入伞形喷嘴，形成超音速蒸汽流；由于密度梯度，油蒸汽射流上方的泵送气体扩散到蒸汽射流中，获得动量并被携带到泵壁；油蒸汽凝结在水冷泵壁上，释放出气体，由前级泵抽走；冷凝的油滴沿着泵壁流回锅炉。
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