双面抛光机平面磨床技术参数:
序列号
项目
规格参数
一个
下盘
措施
φ952毫米×φ388毫米×50毫米(研磨)
φ960毫米×φ380毫米×50毫米(抛光)
抬前轮速度
3-45转/分
驱动电机
7.5千瓦交流380伏50赫兹1440转/分
2
上盘
措施
φ952毫米×φ388毫米×50毫米(研磨)
φ960毫米×φ380毫米×50毫米(抛光)
抬前轮速度
3-30转/分
驱动电机
4.0千瓦交流380伏50赫兹1440转/分
三
跑偏轮
参数
螺距:15.7 Z=64
量
六
四
太阳轮
抬前轮速度
0-20转/分
驱动电机
1.5千瓦交流380伏50赫兹1440转/分
五
精度指数
上板和下板的平整度
≤0.015毫米
下盘末端跳跃
≤0.02毫米
六
加工范围
最大加工尺寸
φ280毫米
最小加工厚度
0.15毫米(≤2 & # 34;电影)
整盘承载能力
18×6=108片(2 & # 34;晶圆)
七
水源
纯净水或自来水
八
电源
力量
14千瓦交流380伏50赫兹
电缆规格
Tn-s刮擦。3× 4毫米+2×2。5毫米
九
气源
压力
0.5-0.6兆帕压缩空气源。
喷嘴直径
接口φ10毫米(外径)
10
外形尺寸
长×宽×高:1650毫米×1300毫米×2500毫米。
11
重量
大约3000公斤
详情杨经理137 2352 1401 181 030 45976
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